飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜-材料表征

飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜（11TOF-SIMS)是一種非常靈敏的表面分析技術(shù)?？梢詮V泛應(yīng)用于物理，化學(xué)，微電子，生物，制藥，空間分析等工業(yè)和研究方面。TOF-SIMS可以提供表面，薄膜，界面以至于三維樣品的元素，分子等結(jié)構(gòu)信息。

飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜-材料表征

技術(shù)參數(shù)：
. 并行探測(cè)所有離子，包括有機(jī)和無(wú)機(jī)分子碎片。
. 無(wú)限的質(zhì)量探測(cè)范圍（實(shí)際測(cè)量中大于1000m/z 原子量單位）。
. *透過(guò)率下實(shí)現(xiàn)高的質(zhì)量分辨率。
. *的橫向和縱向空間分辨率（橫向小于100納米，縱向小于1納米）。
. 探測(cè)靈敏度可達(dá)ppm或ppb量級(jí)。
. 質(zhì)量探測(cè)分辨率(M/ΔM) >1000
. 質(zhì)量探測(cè)準(zhǔn)確度 ≥20 milli 質(zhì)量單位
. 反射性分析器
. 5 分鐘樣品腔真空度可從大氣環(huán)境達(dá)到真空工作環(huán)境

主要特點(diǎn)：
.  超高的表面靈敏度(1x109 atoms/cm2)
·  操作簡(jiǎn)單(? day training)
· 1 分鐘分析，樣品處理流程<7分鐘
· 導(dǎo)體和絕緣體表面均可測(cè)試
· 可得到元素和分子信息
· 從元素中分離出普通有機(jī)物
· 正電和負(fù)電的 二次離子質(zhì)譜
· 同位素分析
· 分析面積 ~0.5 mm
·  濺射預(yù)清洗表面
· 提供材料數(shù)據(jù)庫(kù)