TPD系統(tǒng)用于測量超薄薄膜吸附/脫吸的獨(dú)立系統(tǒng)，能夠在較寬溫范圍內(nèi)進(jìn)行高精度溫度控制。

• 本底真空1×10-9 mbar 的 TPD/TDS 腔室（可用于其他組件的備用端口）

• 配備四極桿TDS 40A1熱脫附質(zhì)譜儀（質(zhì)量范圍最大到200 AMU），Z軸移動以實現(xiàn)最佳探測器定位

• 特別設(shè)計的圓錐形采樣端件

• 1 軸超高真空操縱器，在寬溫范圍內(nèi)具有高精度溫度控制（-170°C 至 1200 °C）

• TDS專用 計算機(jī)控制的數(shù)據(jù)采集和處理軟件

• 樣品傳輸腔配置兩個 PTS 樣品夾具

• 從樣品傳輸腔到 TPD 室配置可靠和快速的線性傳輸系統(tǒng)

• 19" 支撐柜，安裝所有的電子部件

• 具有大輪子的可調(diào)節(jié)剛性大型機(jī)，便于系統(tǒng)放置

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TPD系統(tǒng)升級選項

• 操縱器的其他運(yùn)動軸，并機(jī)動化

• 通過精確控制壓力，將壓力范圍從超高真空擴(kuò)展到 1 atm 的可能性

• 氣體注入系統(tǒng)（手動或精確與 PLC 控制）

• 溶劑注入系統(tǒng)

• 致力于在腐蝕性環(huán)境中工作的樣品夾具

• 樣品傳輸腔室具有加熱和 液氮LN2冷卻選項

• 用于樣品準(zhǔn)備的專用室

• 不同質(zhì)量范圍的殘余氣體分析質(zhì)譜儀