MINILAB勻膠顯影熱板系統(tǒng)：

小型實驗室配有旋涂機、熱板、去離子水系統(tǒng)和工藝槽。該設(shè)備能有效地對大學(xué)和研究中心的4英寸樣品進行光刻。

•組成：旋涂機（Spin-1200T）、熱板、D.I水系統(tǒng)

•排水管

•排水槽

•排氣

•D.I水槍

•MINILAB勻膠顯影熱板系統(tǒng)尺寸：1300（寬）*750（深）*1800（高）

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