HOLOPRINT 納米壓印便攜且易于使用。

該HoloPrint®桌面單元適用于小規(guī)模納米壓印光刻。該設(shè)備是快速完成原型設(shè)計(jì)、測(cè)試和表征結(jié)構(gòu)特性的理想選擇，包括使用光固化樹(shù)脂和壓印材料。

典型應(yīng)用范圍從壓印、芯片實(shí)驗(yàn)室到衍射光學(xué)元件和其他納米壓印結(jié)構(gòu)。
HoloPrint ®uniA6 DT在其受保護(hù)的環(huán)境中工作。

HOLOPRINT 納米壓印光刻的優(yōu)良解決方案

HoloPrint® uniA6 DT與傳統(tǒng)的納米壓印工具相比，它是一種小型且更高性?xún)r(jià)比的卷對(duì)板壓印設(shè)備，這些設(shè)備至今仍主導(dǎo)著該行業(yè)。這種智能技術(shù)是同類(lèi)技術(shù)中的第一個(gè)：桌面型納米壓印光刻和卷對(duì)板（R2P）設(shè)備。

卷到板NIL工藝使用專(zhuān)業(yè)的壓接壓印工藝以及可調(diào)節(jié)的壓印力，以最大限度地減少材料收縮，同時(shí)減少氣泡問(wèn)題。這種壓接壓印工藝減少了對(duì)基材一致性的要求，從而降低了成本并提高了產(chǎn)量。

工程師在設(shè)計(jì)這款桌面型NIL時(shí)考慮到了成本節(jié)約，同時(shí)旨在制造出具有高質(zhì)量輸出的機(jī)器。通過(guò)對(duì)每小時(shí)多達(dá)60個(gè)板/晶圓進(jìn)行定期性能評(píng)估，在大批量使用中不會(huì)影響質(zhì)量。

uniA6 DT 可實(shí)現(xiàn)加速的工藝周期

HoloPrint® uniA6 DT通過(guò)快速測(cè)試新設(shè)計(jì)，允許快速迭代開(kāi)發(fā)周期;因此，它是原型設(shè)計(jì)的設(shè)備。

該設(shè)備使用戶(hù)能夠?qū)嶒?yàn)和測(cè)試許多壓印技術(shù);光固化樹(shù)脂和加工參數(shù)，如壓力、速度和光照強(qiáng)度。這些檢查對(duì)于在大規(guī)模生產(chǎn)之前進(jìn)行擴(kuò)展非常有用 - 在內(nèi)部構(gòu)建原型的能力將節(jié)省時(shí)間和資源。HoloPrint® uniA6 DT還允許中開(kāi)發(fā)壓印模板。

"HoloPrint uniA6 DT使我們能夠快速測(cè)試和試驗(yàn)制造光學(xué)模塊所需的結(jié)構(gòu)和材料。"

SPIO 系統(tǒng)

獨(dú)特的光學(xué)引擎設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)更適度的設(shè)備

該壓印機(jī)包括專(zhuān)業(yè)光學(xué)引擎，該引擎使用長(zhǎng)壽命（395nm）發(fā)光二極管（LED），并具有被動(dòng)冷卻功能，以及可選的內(nèi)置水冷卻功能，可滿(mǎn)足曝光需求。

我們?cè)诠鈱W(xué)引擎中使用發(fā)光二極管來(lái)提高生產(chǎn)產(chǎn)量，這項(xiàng)技術(shù)取代了氣體放電管的輕質(zhì)引擎。光學(xué)引擎是HoloPrint® uniA6 DT的重要組成部分，因?yàn)樗峁┝嗽谖覀兊墓夤袒瘶?shù)脂中產(chǎn)生快速化學(xué)反應(yīng)所需的高度聚焦的光子能量，將聚合物狀態(tài)從彈性變?yōu)樗苄浴?/span>

HOLOPERINT® uniA6 技術(shù)規(guī)格

最大壓印尺寸： 105x148 毫米（寬 x 長(zhǎng)），基板厚度可達(dá) 8 毫米

復(fù)制速度：每小時(shí) 60 次手動(dòng)復(fù)制（速度高達(dá) 6 米/分鐘）

兩個(gè)輸出：卷對(duì)板和卷對(duì)箔操作

光學(xué)固化引擎：長(zhǎng)壽命 395nm LED，在 6 米/分鐘時(shí)高達(dá) 100mJ/cm2

設(shè)備尺寸和重量：670x380x320毫米（長(zhǎng)x寬x高），26千克