MDA-80SA光刻機又名：掩模對準曝光機，曝光系統(tǒng)，光刻系統(tǒng)，光刻機，紫外曝光機等；

MIDAS為半導體設備供應商，多年來致力于掩模對準光刻機和勻膠機研發(fā)與生產，并且廣泛應用于半導體、微電子、生物器件和納米科技領域；該公司是目前將光刻機商品化的公司之一，擁有雄厚的技術研發(fā)力量和設備生產能力；并且其設備被眾多著名企業(yè)、研發(fā)中心、研究所和高校所采用；以優(yōu)秀的技術、工藝和良好的服務，贏得了用戶的青睞。

MDA-80SA光刻機產地：韓國MIDAS公司，唯1能做到圖形化藍寶石襯底（PSS）光刻機，高性價比

型號：MDA-80SA

易于操作的用戶界面，PLC操作與PC控制，圖像抓取和數(shù)據(jù)日志，100多個程序配方，電動操縱桿控制，電動變焦顯微鏡和樣品臺

•操縱桿控制，半自動

•掩模版尺寸高達9英寸

•基板尺寸6~8英寸

•均勻光束尺寸10.25*10.25英寸

•紫外線光源：紫外線燈，2 kW

•光束波長350~450 nm

•光束均勻性<±5%

•365 nm強度~25 mW/?

•定位方法：操縱桿控制，半自動

•對準精度1 um

•操作模式：軟、硬、真空接觸和接近

•工藝分辨率：1 um@1 um PR厚度，真空接觸